2024-4-19 11:18

2nm以下芯片必备!英特尔率先开始组装ASML新一代光刻机

今天芯片巨头英特尔宣布,已开始组装阿斯麦(ASML)的高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻机,并称这是其超越竞争对手的重要一步。

去年12月,阿斯麦确认向英特尔交付首台高数值孔径极紫外光刻系统,这台机器的售价高达3.5亿欧元(约合27亿元人民币)。

英特尔光刻主管马克·菲利普斯表示:“我们在决定购买这些设备时就已经认可了它们的价格。如果我们不认为这些设备物有所值,我们根本不会采购。”

此前英特尔CEO基辛格曾表示,该设备将会被应用于1.8nm以下的挑战。

除了英特尔外,台积电、三星、SK海力士和美光等也都订购了这款机器,但由于该设备的运输和安装可能需要长达六个月的时间,因此英特尔此举已经领先了对手至少半年。

而英特尔决定要率先采用高数值孔径极紫外光刻机也并非偶然。

英特尔虽曾参与开发极紫外光刻技术,但在开始使用阿斯麦首款极紫外光刻机上却晚于其竞争对手台积电,基辛格也承认,这是一个严重的失误。

菲利普斯也表示:“现在我们已经有了期待已久的新一代极紫外光刻机,我们不想再犯过去的错误。”

作者:黑白   来源:快科技

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本评论 更新于:2024-5-21 11:50:57
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