天眼查显示，上海理想万里晖薄膜设备有限公司（理想万里晖）日前发生工商变更，理想能源设备（上海）有限公司退出股东行列，新增中微半导体设备（上海）股份有限公司（中微公司）等股东。另外，该公司的注册资本由8455.3348万人民币增至1.46亿人民币，增幅为73.17%。
图源：天眼查
据悉，中微公司的持股比例微3.85%，出资563.689万元。
公开资料显示，理想万里晖于2013年5月21日在自贸区市场监督管理局登记成立。法定代表人孙曦东，公司经营范围包括薄膜、光伏电池、平板显示屏生产专用设备的研究等。
中微公司是我国集成电路设备行业的领先企业，目前开发的产品以集成电路前道生产的等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等关键设备为主，并已逐步开发应用于后道先进封装、MEMS、MiniLED、MicroLED等领域的泛半导体设备产品。
