C114讯 1月20日消息（南山）据报道，英特尔宣布向荷兰光刻机制造商ASML预订了一台仍在设计中的顶级EUV光刻机，为业界首家。这台光刻机型号为High-NA量产型EUV光刻机EXE:5200，是业界最强的光刻机，此刻尚未面世。
据悉，台积电此前已经向ASML采购High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000，预计在今年内会跟进下单High-NA量产型EUV光刻机。
此前，英特尔确定自己是ASML的High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000的第一个买家。
据ASML透露，High-NA研发型EUV光刻机EXE: 5000将在2024年前出货，在手订单已达5台。量产型EUV光刻机EXE: 5200将在2024年推出，支持客户的后续量产计划。这款光刻机瞄准了2025年后晶圆制造的最新工艺节点，例如2nm工艺。
英特尔期望能在晶圆制造领域超过龙头台积电。与此同时，英特尔还大量采用台积电的晶圆代工服务，预期未来几年会成为台积电的大客户之一。
