2019-9-5 15:40

月底交付三安,国内首款LED半导体晶圆倒片机量产

据松江报报道,由上海福赛特智能设备有限公司独立研发的国内首款LED半导体晶圆倒片机今年量产,长三角G60科创走廊研发成果填补了行业空白。

该公司智能设备事业部副总经理刘纯君表示,此设备用在LED半导体外延工艺段,可实现晶圆从原料仓至PVD(物理气相沉积)工序之间以及PVD工序到MOCVD(金属有机物化学气相沉积)工序之间的周转。

值得注意的是,该报道指出,刘纯君也介绍说,这批设备是交付给三安集团的,三安集团作为国内LED晶圆制造业的龙头企业,对产品品质要求很高。

据悉,在福赛特推出此设备之前,这种周转主要通过人工操作完成。人工操作引入的污染会对产品品质产生很大影响,因为人为失误造成的产品或载具损伤浪费不小。而且,人工操作和周转中断了设备信息流和数据流,不利于产品信息追踪及回溯。福赛特LED半导体晶圆倒片机的推出,解决了行业痛点。

此外,目前福赛特第一款设备LED半导体晶圆倒片机已经量产,PSS工艺段的第二款产品PSS自动上片机已经研制成功,目前该公司正与国内LED主设备龙头企业洽谈,拟合作研发嵌入式晶圆倒片模块,支持新一代国产MOCVD和PVD设备的研制。

作者:小如   来源:集微网

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本评论 更新于:2024-3-28 19:03:28
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